Z jakich materiałów są wykonane półprzewodniki?Cele rozpylania molibdenu dla półprzewodników

Obecnie cele napylania są wykorzystywane w wielu różnych zastosowaniach, od przemysłu półprzewodników po osadzanie cienkowarstwowe różnych materiałów w przetwarzaniu układów scalonych.Rozpylanie to uznana technika osadzania cienkich warstw różnych materiałów na podłożach o różnych kształtach i rozmiarach.W celu uzyskania pożądanych właściwości w filmach osadzanych przez napylanie, krytyczne znaczenie mają materiały produkcyjne i procesy stosowane do wytwarzania tarczy do napylania katodowego.Poniżej przyjrzymy się celom rozpylania molibdenu dla półprzewodników.

Oprócz tarcz z czystych metali, takich jak wolfram, molibden, niob, tytan i krzem, istnieją również tarcze ze stopów, takie jak wolfram, molibden, tytan, krzem i tantal, a także związki, takie jak tlenki lub azotki.Proces określania materiału jest równie ważny jak parametry operacyjne osadzania, które inżynierowie i naukowcy doskonalą podczas procesu powlekania.

W porównaniu z innymi metodami osadzania, napylona folia ma lepszą przyczepność do podłoża, a materiały o wyjątkowo wysokich temperaturach topnienia, takie jak molibden i wolfram, są również łatwo napylane.Rozpylanie można również przeprowadzić od góry do dołu, podczas gdy parowanie może odbywać się tylko od dołu do góry.

Cele rozpylania są zazwyczaj okrągłe lub prostokątne, ale dostępne są również inne kształty, w tym kwadratowe i trójkątne.Podłożem jest przedmiot do powlekania, który może obejmować płytki półprzewodnikowe, ogniwa słoneczne, elementy optyczne lub wiele innych możliwości.Grubość powłoki zwykle mieści się w zakresie od angstremów do mikronów.Membrana może być z jednego materiału lub z wielu materiałów w strukturze wielowarstwowej.

Jako metal ogniotrwały o szerokim zakresie zastosowań, molibden ma doskonałe właściwości mechaniczne, niską rozszerzalność, wysoką przewodność cieplną i wyjątkowo wysoką przewodność elektryczną w wysokich temperaturach.Jako cel rozpylający istnieją różne kombinacje, takie jak czysty cel molibdenowy, cel molibdenowo-tytanowy, cel molibdenowo-tantalowy, cel ze stopu molibdenu (taki jak płyta TZM).

Cel do napylania molibdenu ma cechy wysokiej czystości, wysokiej gęstości, drobnych i jednolitych ziaren, aby uzyskać wyjątkowo wysoką wydajność napylania, jednolitą grubość filmu i gładką powierzchnię trawienia podczas procesu napylania.