-
DawidDobra firma z miłą obsługą i wysoką jakością i wysoką reputacją. Jeden z naszych niezawodnych dostawców, towar dostarczany jest na czas i w ładnym opakowaniu. -
John MorrisEksperci materiałowi, rygorystyczne przetwarzanie, terminowe wykrywanie problemów w rysunkach projektowych i komunikacji z nami, przemyślana obsługa, rozsądna cena i dobra jakość, wierzę, że będziemy mieli więcej współpracy. -
JorgeDziękuję za dobrą obsługę posprzedażną. Doskonała wiedza i wsparcie techniczne bardzo mi pomogły. -
Petradzięki bardzo dobrej komunikacji wszystkie problemy rozwiązane, zadowolony z zakupu -
Adrian HayterTowar zakupiony tym razem jest bardzo zadowolony, jakość bardzo dobra, a obróbka powierzchni bardzo dobra. Wierzę, że wkrótce złożymy kolejne zamówienie.
20mm cele rozpylania molibdenu dla przemysłu półprzewodnikowego cel molibdenu molibden Disc produkty molibdenowe
| nazwa | Cele rozpylania molibdenu dla przemysłu półprzewodnikowego | Materiał | Molibden i stop molibdenu |
|---|---|---|---|
| Czystość | 99,95% | Gęstość | 10,2 g/cm3 |
| Grubość | <20mm | Średnica | <300mm |
| Powierzchnia | Błyszczący | Standard | ASTM B386 |
| Podkreślić | 20mm cele rozpylania molibdenu,polerowane cele rozpylania molibdenu,99 |
||
Cele napylania molibdenu dla przemysłu półprzewodników
1. Opis celów rozpylania molibdenu dla przemysłu półprzewodników:
Molibden to wszechstronny metal ogniotrwały o wyjątkowych właściwościach mechanicznych, niskim współczynniku rozszerzalności, dużej przewodności cieplnej i wyjątkowo wysokiej przewodności elektrycznej w wysokich temperaturach.Istnieje wiele kombinacji, które można stosować jako cele do rozpylania, w tym cele z czystego molibdenu, cele z molibdenu i tytanu, cele z tantalu molibdenu i cele ze stopu molibdenu (takie jak płyta TZM).
Materiały stosowane w półprzewodnikach obejmują tarcze z czystych metali, takich jak wolfram, molibden, niob, tytan i krzem, a także substancje takie jak tlenki i azotki.Równie istotne jak parametry operacyjne osadzania, które inżynierowie i naukowcy doskonalą w całym procesie powlekania, jest procedura doboru materiału.
2. RozmiarCele rozpylania molibdenu dla przemysłu półprzewodników:
Grubość: <20mm
Średnica: <300mm
Powierzchnia: polerowana
Norma: ASTM B386
Istnieje możliwość wykonania innego rozmiaru według rysunku klienta.
![]()
![]()
3. Zawartość chemicznaCele rozpylania molibdenu dla przemysłu półprzewodników:
| Analiza ilościowa | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| Element | Ni | Mg | Fe | Pb | Glin | Bi | Si | Płyta CD | Ok | P | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| Stężenie(%) | 0,003 | 0,002 | 0,005 | 0,0001 | 0,002 | 0,0001 | 0,002 | 0,0001 | 0,002 | 0,001 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| Element | C | O | N | Sb | sen | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| Stężenie(%) | 0,01 | 0,003 | 0,003 | 0,0005 | 0,0001 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| Czystość (baza metaliczna) Mo≥99,95% | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
|
||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| Nieruchomości | Czysty molibden | Domieszkowany molibden | Wysokotemperaturowy stop molibdenu | ||
| Współczynnik atomowy | 42 | ||||
| Masa atomowa (m) | 95,95 | ||||
| Stała sieci (a) | sześcian wyśrodkowany na ciele | 3.14'10-10 | |||
| Gęstość (r) | 10,2 g/cm3 | ||||
| Temperatura topnienia (t) | 2620 ± 10 ℃ | ||||
| Temperatura wrzenia (t) | 4800 ℃ | ||||
| Współczynnik rozszerzalności liniowej(a1) | 20℃ | 5,3'10-6/K | 5,3'10-6/K | 5,3'10-6/K | |
| 20-1000 ℃ | 5,8'10-6/K | 5,8'10-6/K | 5,8'10-6/K | ||
| 20-1500 ℃ | 6,5'10-6/K | 6,5'10-6/K | 6,5'10-6/K | ||
| Ciepło właściwe (u) | 20℃ | 0,25 J/g·K | 0,25 J/g·K | 0,25 J/g·K | |
| 1000 ℃ | 0,31 J/g·K | 0,31 J/g·K | 0,31 J/g·K | ||
| 2000 ℃ | 0,44J/g·K | 0,44J/g·K | 0,44J/g·K | ||
| Przewodność cieplna (l) | 20℃ | 142 W/m·K | 142 W/m·K | 126 W/m·K | |
| 1000 ℃ | 105 W/m·K | 105 W/m·K | 98 W/m·K | ||
| 1500 ℃ | 88 W/m·K | 88 W/m·K | 86 W/m·K | ||
| Rezystywność (r) | 20℃ | 0,052 mWm | 0,065 mWm | 0,055 mWm | |
| 1000 ℃ | 0,27 mWm | 0,28 mWm | 0,31 mWm | ||
| 1500 ℃ | 0,43 mWm | 0,43 mWm | 0,45 mWm | ||
| 2000 ℃ | 0,60 mWm | 0,63 mWm | 0,66 mWm | ||
| Energia promienista | 730 ℃ | 5500,0 W/m2 | |||
| 1330℃ | 6300,0 W/m2 | ||||
| 1730℃ | 19200,0 W/m2 | ||||
| 2330℃ | 700000,0 W/m2 | ||||
| Przekrój poprzeczny absorpcji neutronów termicznych | 2,7'10-28m2 | 2,7'10-28m2 | 2,7'10-28m2 | ||
| Wytrzymałość na rozciąganie (Sb) | Płyta o grubości 0,10-8,00 mm | 590 ~ 785 MPa | 450 ~ 520 MPa | 690 ~ 1130 MPa | |
| Przewód f0,80 | 1020 MPa | 1570MPa | |||
| Granica plastyczności (S0.2) | Płyta o grubości 0,10-8,00 mm | 540 ~ 620 MPa | 290 ~ 360 MPa | 620 ~ 1000 MPa | |
| Wydłużenie(%) | Płyta o grubości 0,10-8,00 mm | 3 ~ 17 | 15 ~ 75 | 2~8 | |
| Przewód f0,80 | 1,5 | 2 | |||
| Moduł sprężystości (E) | 20℃ | 320GPa | 320GPa | 320GPa | |
| 1000 ℃ | 270GPa | 270GPa | 270GPa | ||
| Twardość (HV10) | <70%Płyta deformacyjna | 200 ~ 280 | 240~340 | ||
| > 70%Płyta deformacyjna | 260 ~ 360 | 300 ~ 450 | |||
| Rekrystalizowana płyta | 140 ~ 160 | 170 ~ 190 | <200 | ||
| Temperatura przejścia plastycznego w kruchy (T) | -40 ~ 40 ℃ | ||||
| Początkowa temperatura rekrystalizacji (T) | > 90% Płyta odkształcenia 1 godz. Wyżarzona | 900 ℃ | 1400 ℃ | 1250 ℃ | |
| końcowa temperatura rekrystalizacji (T) | Wyżarzone przez 1 | 1200 ℃ | 1700 ℃ | 1600 ℃ | |
5. FunkcjeCele rozpylania molibdenu dla przemysłu półprzewodników:
Napylana powłoka przylega do podłoża lepiej niż konwencjonalne techniki osadzania, a materiały o bardzo wysokich temperaturach topnienia, takie jak molibden i wolfram, są bardzo łatwe do napylania.Dodatkowo, podczas gdy parowanie można przeprowadzić tylko od dołu do góry, rozpylanie można przeprowadzić w obie strony.
Cele rozpylające są często okrągłe lub prostokątne, chociaż dostępne są również opcje kwadratowe i trójkątne.Podłoże to element, który należy pokryć i może nim być wszystko, od ogniw słonecznych po elementy optyczne i płytki półprzewodnikowe.Grubość powłoki zazwyczaj waha się od angstremów do mikronów.Membrana może składać się z pojedynczego materiału lub kilku materiałów ułożonych warstwowo.
Tarcze do napylania molibdenu charakteryzują się wysoką czystością, dużą gęstością, drobnym i spójnym ziarnem, co skutkuje wyjątkowo wysoką wydajnością napylania, jednorodną grubością warstwy i czystą powierzchnią trawienia w całym procesie napylania.
Aby dowiedzieć się więcej o naszych produktach, kliknij poniższy przycisk.
![]()

