Wszystkie produkty
-
DawidDobra firma z miłą obsługą i wysoką jakością i wysoką reputacją. Jeden z naszych niezawodnych dostawców, towar dostarczany jest na czas i w ładnym opakowaniu. -
John MorrisEksperci materiałowi, rygorystyczne przetwarzanie, terminowe wykrywanie problemów w rysunkach projektowych i komunikacji z nami, przemyślana obsługa, rozsądna cena i dobra jakość, wierzę, że będziemy mieli więcej współpracy. -
JorgeDziękuję za dobrą obsługę posprzedażną. Doskonała wiedza i wsparcie techniczne bardzo mi pomogły. -
Petradzięki bardzo dobrej komunikacji wszystkie problemy rozwiązane, zadowolony z zakupu -
Adrian HayterTowar zakupiony tym razem jest bardzo zadowolony, jakość bardzo dobra, a obróbka powierzchni bardzo dobra. Wierzę, że wkrótce złożymy kolejne zamówienie.
20mm cele rozpylania molibdenu dla przemysłu półprzewodnikowego cel molibdenu molibden Disc produkty molibdenowe
Skontaktuj się ze mną, aby uzyskać bezpłatne próbki i kupony.
Whatsapp:0086 18588475571
wechat: 0086 18588475571
Skype: sales10@aixton.com
W razie jakichkolwiek wątpliwości zapewniamy całodobową pomoc online.
xSzczegóły Produktu
| nazwa | Cele rozpylania molibdenu dla przemysłu półprzewodnikowego | Materiał | Molibden i stop molibdenu |
|---|---|---|---|
| Czystość | 99,95% | Gęstość | 10,2 g/cm3 |
| Grubość | <20mm | Średnica | <300mm |
| Powierzchnia | Błyszczący | Standard | ASTM B386 |
| Podkreślić | 20mm cele rozpylania molibdenu,polerowane cele rozpylania molibdenu,99 |
||
opis produktu
Cele napylania molibdenu dla przemysłu półprzewodników
1. Opis celów rozpylania molibdenu dla przemysłu półprzewodników:
Molibden to wszechstronny metal ogniotrwały o wyjątkowych właściwościach mechanicznych, niskim współczynniku rozszerzalności, dużej przewodności cieplnej i wyjątkowo wysokiej przewodności elektrycznej w wysokich temperaturach.Istnieje wiele kombinacji, które można stosować jako cele do rozpylania, w tym cele z czystego molibdenu, cele z molibdenu i tytanu, cele z tantalu molibdenu i cele ze stopu molibdenu (takie jak płyta TZM).
Materiały stosowane w półprzewodnikach obejmują tarcze z czystych metali, takich jak wolfram, molibden, niob, tytan i krzem, a także substancje takie jak tlenki i azotki.Równie istotne jak parametry operacyjne osadzania, które inżynierowie i naukowcy doskonalą w całym procesie powlekania, jest procedura doboru materiału.
2. RozmiarCele rozpylania molibdenu dla przemysłu półprzewodników:
Grubość: <20mm
Średnica: <300mm
Powierzchnia: polerowana
Norma: ASTM B386
Istnieje możliwość wykonania innego rozmiaru według rysunku klienta.
3. Zawartość chemicznaCele rozpylania molibdenu dla przemysłu półprzewodników:
| Analiza ilościowa | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| Element | Ni | Mg | Fe | Pb | Glin | Bi | Si | Płyta CD | Ok | P | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| Stężenie(%) | 0,003 | 0,002 | 0,005 | 0,0001 | 0,002 | 0,0001 | 0,002 | 0,0001 | 0,002 | 0,001 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| Element | C | O | N | Sb | sen | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| Stężenie(%) | 0,01 | 0,003 | 0,003 | 0,0005 | 0,0001 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| Czystość (baza metaliczna) Mo≥99,95% | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
|
||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
4. Właściwości fizyczne i mechaniczneCele rozpylania molibdenu dla przemysłu półprzewodników:
| Nieruchomości | Czysty molibden | Domieszkowany molibden | Wysokotemperaturowy stop molibdenu | ||
| Współczynnik atomowy | 42 | ||||
| Masa atomowa (m) | 95,95 | ||||
| Stała sieci (a) | sześcian wyśrodkowany na ciele | 3.14'10-10 | |||
| Gęstość (r) | 10,2 g/cm3 | ||||
| Temperatura topnienia (t) | 2620 ± 10 ℃ | ||||
| Temperatura wrzenia (t) | 4800 ℃ | ||||
| Współczynnik rozszerzalności liniowej(a1) | 20℃ | 5,3'10-6/K | 5,3'10-6/K | 5,3'10-6/K | |
| 20-1000 ℃ | 5,8'10-6/K | 5,8'10-6/K | 5,8'10-6/K | ||
| 20-1500 ℃ | 6,5'10-6/K | 6,5'10-6/K | 6,5'10-6/K | ||
| Ciepło właściwe (u) | 20℃ | 0,25 J/g·K | 0,25 J/g·K | 0,25 J/g·K | |
| 1000 ℃ | 0,31 J/g·K | 0,31 J/g·K | 0,31 J/g·K | ||
| 2000 ℃ | 0,44J/g·K | 0,44J/g·K | 0,44J/g·K | ||
| Przewodność cieplna (l) | 20℃ | 142 W/m·K | 142 W/m·K | 126 W/m·K | |
| 1000 ℃ | 105 W/m·K | 105 W/m·K | 98 W/m·K | ||
| 1500 ℃ | 88 W/m·K | 88 W/m·K | 86 W/m·K | ||
| Rezystywność (r) | 20℃ | 0,052 mWm | 0,065 mWm | 0,055 mWm | |
| 1000 ℃ | 0,27 mWm | 0,28 mWm | 0,31 mWm | ||
| 1500 ℃ | 0,43 mWm | 0,43 mWm | 0,45 mWm | ||
| 2000 ℃ | 0,60 mWm | 0,63 mWm | 0,66 mWm | ||
| Energia promienista | 730 ℃ | 5500,0 W/m2 | |||
| 1330℃ | 6300,0 W/m2 | ||||
| 1730℃ | 19200,0 W/m2 | ||||
| 2330℃ | 700000,0 W/m2 | ||||
| Przekrój poprzeczny absorpcji neutronów termicznych | 2,7'10-28m2 | 2,7'10-28m2 | 2,7'10-28m2 | ||
| Wytrzymałość na rozciąganie (Sb) | Płyta o grubości 0,10-8,00 mm | 590 ~ 785 MPa | 450 ~ 520 MPa | 690 ~ 1130 MPa | |
| Przewód f0,80 | 1020 MPa | 1570MPa | |||
| Granica plastyczności (S0.2) | Płyta o grubości 0,10-8,00 mm | 540 ~ 620 MPa | 290 ~ 360 MPa | 620 ~ 1000 MPa | |
| Wydłużenie(%) | Płyta o grubości 0,10-8,00 mm | 3 ~ 17 | 15 ~ 75 | 2~8 | |
| Przewód f0,80 | 1,5 | 2 | |||
| Moduł sprężystości (E) | 20℃ | 320GPa | 320GPa | 320GPa | |
| 1000 ℃ | 270GPa | 270GPa | 270GPa | ||
| Twardość (HV10) | ＜70%Płyta deformacyjna | 200 ~ 280 | 240~340 | ||
| > 70%Płyta deformacyjna | 260 ~ 360 | 300 ~ 450 | |||
| Rekrystalizowana płyta | 140 ~ 160 | 170 ~ 190 | ＜200 | ||
| Temperatura przejścia plastycznego w kruchy (T) | -40 ~ 40 ℃ | ||||
| Początkowa temperatura rekrystalizacji (T) | > 90% Płyta odkształcenia 1 godz. Wyżarzona | 900 ℃ | 1400 ℃ | 1250 ℃ | |
| końcowa temperatura rekrystalizacji (T) | Wyżarzone przez 1 | 1200 ℃ | 1700 ℃ | 1600 ℃ | |
5. FunkcjeCele rozpylania molibdenu dla przemysłu półprzewodników:
Napylana powłoka przylega do podłoża lepiej niż konwencjonalne techniki osadzania, a materiały o bardzo wysokich temperaturach topnienia, takie jak molibden i wolfram, są bardzo łatwe do napylania.Dodatkowo, podczas gdy parowanie można przeprowadzić tylko od dołu do góry, rozpylanie można przeprowadzić w obie strony.
Cele rozpylające są często okrągłe lub prostokątne, chociaż dostępne są również opcje kwadratowe i trójkątne.Podłoże to element, który należy pokryć i może nim być wszystko, od ogniw słonecznych po elementy optyczne i płytki półprzewodnikowe.Grubość powłoki zazwyczaj waha się od angstremów do mikronów.Membrana może składać się z pojedynczego materiału lub kilku materiałów ułożonych warstwowo.
Tarcze do napylania molibdenu charakteryzują się wysoką czystością, dużą gęstością, drobnym i spójnym ziarnem, co skutkuje wyjątkowo wysoką wydajnością napylania, jednorodną grubością warstwy i czystą powierzchnią trawienia w całym procesie napylania.
Aby dowiedzieć się więcej o naszych produktach, kliknij poniższy przycisk.
Polecane produkty